• Title

    题名

    半导体制造技术
  • Publication Information

    出版信息

    Publishing House of Electronics Industry
    电子工业出版社
  • Publication Type

    文献类型

    图书/专著
  • Publication Year

    出版时间

    2004
  • Publisher

    出版单位

    Publishing House of Electronics Industry
    电子工业出版社
  • Place of Publication

    出版地

    China
    中国
  • Language

    语言

    Chinese
    中文
  • ISBN

    ISBN

    7505394932
  • Series

    丛书

    国外电子与通信教材系列
  • Full Text/Access

    全文链接